基于相位差法共焦式测头的研究

摘要：

文章在研究了共焦法测量传感器及其测量系统的基础上,提出了一种通过测量连续两个峰值信号的相位差来计算被测表面位置的方法.该测头采用振动音叉调整系统的焦点位置,用参考臂光路提供参考信号.这种测头舍弃了微型位移传感器,简化了系统结构,降低了成本.测量范围为±0.1mm,动态特性为336点/s,测量强反射表面允许的最大倾角为±12°.

关键词：共焦法、激光、非接触测量

所属期刊栏目：15

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50075064

在线出版日期：2005-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3