用混合测量法检定正、负微米组量块

摘要：

@@ 立式接触式干涉仪通常用于比较测量法测量量块,很少考虑混合测量法的应用.而一般小型企业不建立正、负微米组标准量块.只有在83块组标准量块的情况下,才运用混合测量法,可使正、负微米组量块的检定问题得到解决.
利用立式接触式干涉仪刻度上±50分度值(分度值取0.1μm时)以混合测量法进行检定正、负微米组量块中心长度尺寸和平面平行性尺寸.
(1)取83块组标准量块中的1.0mm块,将干涉仪"零位"线对准刻度中的"0值",分别进行检定1.000mm、1.001mm、1.002mm、1.003mm、1.004mm量块.注意:读数时分别以刻度尺上的0μm、+10μm、+20μm、+30μm、+40μm刻度线来代替原始"0值",并读出相互对应的偏差值.

机标关键词：混合测量法、检定、微米、量块、接触式干涉仪、刻度线、分度值、标准、比较测量法、立式、长度尺寸、型企业、平行性、偏差值、刻度尺、中心、运用、应用、平面

所属期刊栏目：11

分类号：TB9(计量学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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