基于AHP和规则的多目标晶圆制造派工方法的应用

摘要：

针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿真实验得到判断矩阵,然后用层次分析法来选择各设备的派工规则,并进行了敏感性分析,为半导体晶圆制造系统的科学管理提供了有效的实现途径.

关键词：晶圆制造、时变多目标、派工规则、层次分析法

所属期刊栏目：16

分类号：F406(工业经济理论)

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：113-117,123