10.3969/j.issn.1007-7375.2007.05.017
多重入晶圆制造厂整合式生产控制系统建模
将生产计划与生产调度整合,提出整合式晶圆生产控制系统,以应对生产过程中的异常情况,提高晶圆厂的生产绩效.利用两大建模工具IDEF0和Petri Net的各自优点,对整合式生产控制系统建模.
晶圆制造厂、整合式生产控制、IDEF0建模工具、Petri Net建模工具
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TP278(自动化技术及设备)
上海市重点学科建设项目T0502
2007-11-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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