基于数据挖掘的制造过程合格率管理体系研究

摘要：

在半导体自动化制造过程中产生大量的数据,为应用数据挖掘技术进行有效的过程监控提供了条件.提出在运用数据挖掘技术中聚类分析方法的基础上,对不合格批产品的加工路径进行分析,从而准确地将控制对象定位于某些问题设备,并结合统计过程控制的手段加强监控.

关键词：数据挖掘、合格率管理、聚类分析、关键路线、统计过程控制

所属期刊栏目：8

分类号：TN3;TP305(半导体技术)

在线出版日期：2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：64-68