基于激光诱导击穿光谱的真空灭弧室真空度在线检测实验研究

摘要：

真空断路器真空度在线检测经历了半个多世纪的研究,现在仍没有很好的技术投入到实际应用.文中采用激光诱导击穿光谱技术(LIBS),在实验室条件下初步研究了10-3 Pa至105 Pa气压下真空灭弧室屏蔽罩铜材料及周围气体元素元素的LIBS信号,得到了不同真空度下谱线强度随真空度的变化规律.进而通过主成分分析(PCA)和人工神经网络(ANN)算法对多种元素的谱线强度进行分析,获得了主成分因子在相空间的分布和神经网络预测结果.分析结果表明10-3 Pa至105 Pa这10个气压等级下的LIBS信号在PCA相空间中呈现良好的分类聚集,神经网络预测结果准确率达到96.67％.笔者提出了一种真空度在线检测的新方法,克服了传统方法抗电磁干扰能力差、检测限低的难题,具有良好的应用前景.

关键词：真空度、在线检测、激光诱导击穿光谱、主成分、神经网络

所属期刊栏目：53

分类号：TQ5;O53

资助基金：国家自然科学基金创新研究群体51521065.Project Supported by the National Natural Science Foundation of Innovation Research Group51521065

在线出版日期：2017-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：230-234