倾斜入射下的单截面平面度绝对检验

摘要：

针对大尺寸光学平面的直线度的纳米级测量精度需求,提出了倾斜入射下单截面平面度绝对检验方法,实现了对超过相移干涉仪口径的长平晶绝对检验.利用棱镜转向实现倾斜入射角度的精密预标定,棱镜标定角度的精度高于圆光栅和图像分析等方法,可提高测量不确定度到0.0042μm.对比了常规三面互检绝对检验结果与本方法的差异,在相同尺寸下,直线度误差仅为1.2 nm.在确认标定反射镜位置后,整个倾斜入射的干涉图调整过程将被完全集中到待测长平晶的工作面上,不需要再对反射平晶进行操作.调整长平晶时各个维度的操作互不干涉,可快速简便地得到测量结果.

关键词：光学计量、倾斜入射、平面度、绝对检验、二次反射棱镜

所属期刊栏目：44

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金61875087

在线出版日期：2022-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：8-13