非球面磁性复合流体抛光路径误差分析与仿真

摘要：

针对光学系统中对非球面元件的精度要求,设计了直线光栅式的抛光轨迹,并用磁性复合流体以这一抛光轨迹抛光非球面.根据抛光轨迹和非球面方程计算出每个抛光点的坐标;根据抛光点坐标和抛光头的抛光姿态计算出对应的抛光头中心点的坐标;建立相邻两抛光点的弓高误差模型,仿真出弓高误差模型并分析弓高误差的变化规律;根据弓高误差变化规律,用等弓高误差变步长控制算法实现弓高误差的一致性,提高加工质量.

关键词：磁性复合流体、非球面、等弓高误差、路径规划

所属期刊栏目：41

分类号：TH161

在线出版日期：2019-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64