紫外曝光机均匀照明系统的设计与研究

摘要：

紫外曝光机是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备,PCB高密度、微细化的发展趋势,对曝光机光照均匀性,平行性的要求越来越高.为了找出可以更好满足市场需求的曝光机光学系统,运用非成像光学方法,对两种不同光学结构曝光机的光斑均匀性进行了对比分析.通过实验可以看出,在通光孔径较大的光学系统中,复眼透镜阵列和方棒对改善系统光照均匀性以及能量利用率的作用,在实验基础上对如何选择光学系统的匀光器件做了对比性阐述.

关键词：印刷线路板(PCB)、紫外曝光机、复眼、方棒

所属期刊栏目：34

分类号：O434.2(光学)

在线出版日期：2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：31-36