压电陶瓷快反镜的控制器设计及温度补偿研究
针对压电陶瓷快速反射镜,设计了一种基于频域分析的传递函数辨识方法,可以实现对任意已知传递函数阶次的系统进行扫频和传函拟合,再基于拟合的压电快反镜传函进行控制器设计、仿真、实物验证,对设计出的控制器进行验证.闭环性能为控制带宽为600 Hz,1V阶跃信号调节时间为12 ms,结果表明控制器性能满足要求.设备运行过程中会受到温漂影响,因此利用温度、光学偏转角和控制电压之间的关系进行温度补偿,实验结果表明温度补偿功能的温漂抑制效果达90%,极大提高了系统控制精度.
压电陶瓷快反镜、频域分析、控制器、温度补偿、控制精度
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TH74(仪器、仪表)
2023-03-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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