半导体单光子雪崩光电二极管的封装发展

摘要：

半导体单光子雪崩二极管可实现微弱信号的探测,在量子通讯、激光雷达和大气探测等领域具有重要应用.虽然半导体单光子雪崩二极管的性能主要取决于探测芯片设计、流片工艺和外围匹配电路的设计,但后续的封装技术对其探测性能也有重要的影响.聚焦多年来半导体单光子雪崩二极管的封装发展,简要介绍了相应封装形式和技术,以及封装对于雪崩二极管性能的影响,最后对半导体单光子雪崩二极管的封装发展前景做出了展望.

关键词：半导体单光子雪崩光电二极管、封装技术、暗计数、探测效率、热管理技术、光路耦合技术

所属期刊栏目：21

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：安徽省重大科技专项资助项目101073642011

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：108-117