激光诱导Ta2O5/SiO2薄膜热致损伤的分析与仿真

摘要：

光学薄膜对激光系统中光场的调控起着十分重要的作用,但同时也极易受到高能量密度脉冲激光辐照的累积效应而发生损伤,这种累积效应往往引起薄膜内部温度升高,从而发生熔化、破裂等损伤现象.设计了 Ta2O5/SiO2双层增透膜(183.33 nm/249.3nm),从热动力学原理出发,构建了激光诱导Ta2O5/SiO2双层薄膜的温度场和应力场模型,利用MATLAB软件对双层薄膜的温度及应力大小进行了仿真计算.结果表明,激光辐照Ta2O5/SiO2双层增透膜时,膜层均发生热损伤且产生热应力,热应力发生突变,膜层发生热致应力损伤,研究结果对探究激光诱导多层薄膜热致损伤机理具有重要指导意义.

关键词：光学薄膜、激光辐照、温度场、应力场、损伤

所属期刊栏目：21

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61378050

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：94-101