平面型三级行星夹具膜厚均匀性仿真研究

摘要：

建立了平面型三级行星夹具膜厚均匀性数学模型,根据该模型编写计算机仿真程序,研究了 1.8m大口径镀膜机使用平面型三级行星夹具的膜厚均匀性问题.以光驰OTFC-1800-DCI型镀膜机为仿真对象,分析了蒸发源特性、行星夹具倾角和行星轨半径对膜厚均匀性的影响.仿真计算结果表明:行星夹具倾角是影响平面型三级行星夹具膜厚均匀性的主要因素,当行星夹具倾角α=64°时,膜厚分布最为均匀,不均匀性为0.1％.行星轨半径对膜厚均匀性也存在影响,当行星轨半径在665 mm时,膜厚分布最为均匀,膜厚不均匀性控制在1％以内.平面型三级行星夹具膜厚分布理论模型对实际镀膜工作有一定的指导意义.

关键词：行星夹具、均匀性、光学薄膜、膜厚分布、蒸发源

所属期刊栏目：21

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：57-63