球面光学元件表面疵病视觉检测方法研究

摘要：

球面光学元件由于其光学结构的影响,采用机器视觉的方法对其表面疵病进行检测时,无法将被测面都成像在一个像平面上并且在成像的过程中丢失了疵病的三维信息,造成了检测的误差.为了解决这些问题,提出了一种机器视觉与三维重构相结合的检测方法.首先,根据球面光学元件的特性设计了图像采集平台,以获得高质量的疵病图像.然后,通过图像处理算法对疵病图像进行预处理与疵病识别.最后,基于计算机视觉图像重构技术与球心投影技术,对疵病图像进行三维重构.实验表明,该方法提升了机器视觉对球面光学元件表面疵病检测的精度,可达99％,具有可行性和研究价值.

关键词：机器视觉、图像处理、疵病识别、图像重构技术、球心投影

所属期刊栏目：21

分类号：TN391.41(半导体技术)

资助基金：陕西省科技计划项目;西安工业大学-东莞市宇瞳光学联合实验室项目

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：21-27