脉冲激光诱导光学薄膜元件损伤识别方法综述

摘要：

随着激光技术的不断发展,对应用于大功率、高能量激光系统,以及激光防护系统中的光学薄膜器件提出了高损伤阈值的要求.但目前在激光损伤阈值的测量上,还存在测量标准不统一、重复性不好、准确性差、相互结果难以比对等问题,其主要原因在于不同的材料及膜系适用于不同的损伤识别方法.对目前国内外在损伤识别方法方面的研究进行了总结,阐述了图像法、散射法、等离子闪光法,等离子体光谱法等多种不同的损伤识别方法,介绍了各种方法识别损伤的原理、特点,以及损伤识别的效果,期望对激光损伤阈值测试方面的研究具有参考和借鉴.

关键词：激光损伤阈值、识别方法、薄膜、等离子体光谱法、声学法、质谱法

所属期刊栏目：21

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：1-12