超声振动打孔对微晶玻璃表面质量的影响

摘要：

在超声振动打孔时,微晶玻璃最大切深决定了孔壁表面质量.基于脆性断裂材料去除机理,建立了简单实用的超声打孔材料去除率理论关系式,得出影响表面质量的主要工艺参数为:金刚石粒径、刀具转速和进给速度.通过正交实验方法,得到了微晶玻璃超声打孔的最佳工艺参数,金刚石粒径650#、刀具转速12 000 rpm和进给速度5 mm/min.通过工艺参数优化后,微晶玻璃打孔质量得到明显提升,孔壁经过化学抛光处理后,表面粗糙度Ra达到0.055 1 μm,能有效提升激光陀螺腔体的真空特性和激光陀螺的性能.

关键词：超声振动、微晶玻璃、最大切深、表面粗糙度、表面质量

所属期刊栏目：20

分类号：TB559(声学工程)

在线出版日期：2022-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：96-101