离子能量筛选器仿真设计

摘要：

离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能.针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高和过低能量的离子,偏离中心离子能量负100eV的筛选率,已达到82.24％,在光学薄膜制备领域中具有良好的应用前景.

关键词：离子源、离子能量、筛选器、离子束辅助沉积、有限元仿真

所属期刊栏目：20

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省重点研发计划资助项目2018KWZ-02

在线出版日期：2022-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：108-114