基于标准平面镜的双目偏折术系统标定

摘要：

相位偏折术中,系统标定精度对面形测量精度具有决定性的影响.采用带标记点标靶进行标定时,由于其表面不是理想平面而引入误差,导致虚像姿态求解不精确,进而影响标定精度.通过使用高精度的标准平面镜作为反射镜,从初始系统参数开始,采用交替方向优化的方法实现系统几何参数的标定,提高了标定精度,同时避免了变量过多导致的矩阵病态问题.使用该方法对双目相位测量偏折系统进行标定后,对100 mm 口径的标准平面镜进行了对比测量.由测量面形可知,该方法可显著降低测量均方根误差和低频面形误差.相比于传统带标记点标靶的方法,有效提高了标定的精度和稳定性.

关键词：机器视觉、双目相位偏折术、系统标定、相机标定、标准平面镜

所属期刊栏目：20

分类号：O435(光学)

在线出版日期：2022-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：25-33