一种基于双目结构光的光学元件精磨表面面形测量方法

摘要：

光学加工过程中,粗磨与精磨阶段材料去除量最大,而抛光阶段的材料去除量则小很多,因此若对粗精磨表面进行精确全场测量将极大缩短加工过程.在现有测量手段中,三坐标机和红外干涉仪存在价格昂贵或效率不高问题.将光学三维传感方法中的双目结构光技术用于光学加工过程,实现了对光学元件粗精磨表面的无接触、全场、快速高精度测量.实验结果表明所提方法切实可行,测量误差小于10 μm,对加工过程中切削加工量的快速精确测量具有应用价值.

关键词：三维测量、双目视觉、光学加工、精磨、三频相位展开

所属期刊栏目：20

分类号：TP391.41(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金;四川省重大科学仪器设备专项资助项目

在线出版日期：2022-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：14-20