LD耦合透镜焦斑位置视觉测量系统

摘要：

设计了一种用于LD耦合透镜焦斑位置检测的显微图像视觉成像系统,该系统由远心镜头、环形LED光源、工业用数码相机和前进运动控制器组成.分别对模组外圆直径与中心检测和对LD耦合透镜出射LD激光焦斑中心和位置检测,得到耦合透镜的焦距及LD偏心度,为后续与光纤的耦合提供精确定位.实验数据表明,该系统偏心测量标准差小于5 μm,焦距测量标准差小于±0.1 mm,能准确获得聚焦光斑和底座圆心的相对位置关系,实验结果精确、测量效率高.

关键词：视觉测量;耦合透镜;偏心测量;焦距测量;搜索算法

所属期刊栏目：19

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2021-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：18-23