白光干涉仪在金属材料表面测试中的应用研究

摘要：

为了从微观角度分析材料服役损伤机理,快速准确地测量材料表面微观形貌,对白光干涉技术进行了理论分析,并采用白光干涉技术对磨斑、蚀坑两种不同类型的材料损伤形貌进行了具体的测试研究.测试结果表明,白光干涉仪可以准确地测量出磨斑、蚀坑的二维和三维形貌及深度分布数据.测得磨斑深度为45.68 μm,腐蚀后的材料表面最大点蚀坑的深度为5.14 μm.白光干涉仪适合于测试材料服役损伤后表面的三维形貌和数据.利用此技术可以对材料微观表面形貌进行快速精确的测量,对深入理解材料服役行为及寿命预测具有参考意义.

关键词：材料科学、白光干涉仪、表面测试、磨斑、蚀坑

所属期刊栏目：18

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金51871228

在线出版日期：2021-02-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：80-85