平面干涉仪测立方体直角方法的研究

摘要：

为实现方体加工过程中快速准确的测角目的,解决传统测角技术难以适应大批量的方体加工问题,对平面干涉仪测立方体直角方法进行了研究.通过理论推导建立了待测角度偏差与干涉条纹条数的关系式,同时为在线加工过程角度的修正提供理论及检测方法的指导.通过对90 mm×90 mm×90mm的立方体进行测角工艺探究,实现了用平面干涉仪对立方体直角误差的检测,以及误差正负的判断,结果表明当视场内条纹数m=5.5时,直角误差δ≤2".条纹收缩时为正误差,条纹扩散时为负误差.

关键词：平面干涉仪、等厚干涉、测量、方体直角、直角误差

所属期刊栏目：18

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2021-02-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34