基于PSD的高精度微位移测量系统研究

摘要：

为实现对古斯-汉欣位移的精确测量,设计了一个以一维PSD为核心的位移测量系统.根据PSD的原理和特性设计了后续的信号处理电路,STC89C52通过12位AD芯片TLC2578采集PSD输出的位置信号,经过处理传输到液晶LCD1602,再通过USB接口传输到上位机,以两种方式进行位移值显示,从而完成测量.实验结果表明,该系统在中心的测量精度较高,边缘的测量精度较低,测量误差在±10 μm内.设计的系统不仅可用于对古斯-汉欣位移的测量,也可以用于其他微位移测量的实验中.

关键词：位置敏感测量器、测量系统、上位机、信号处理电路

所属期刊栏目：18

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：山西省自然基金201701D121060

在线出版日期：2020-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：22-27