一种光场均匀性同步采集方案的FPGA实现

摘要：

提出了一种基于FPGA的光场均匀性测量同步采集方案.在大面积光场均匀性测量中,探头步进扫描法需要对大面积光场进行扫描,因此需要同时对光场测量点的光能量值及其坐标值进行采集.该方案通过设计同步采集电路对光场测量点的能量值及三维坐标进行同步采集,并保证了数据的一一对应,实现光脉冲能量和三维坐标的同步自动化采集.通过构建测试平台对光场均匀性测量同步采集方案进行测验,实验结果证明了同步采集方案的可行性和实用性.

关键词：光场均匀性、光刻机、同步采集、现场可编程门阵列

所属期刊栏目：18

分类号：TH744.5(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划;国家科技重大专项

在线出版日期：2020-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21