低损耗Al2O3薄膜离子束溅射法制备与性能研究

摘要：

采用离子束溅射技术在反射率大于99.999 7％、中心波长(λ)为635 nm的35层高反波堆表面镀制2M(光学厚度为λ/2)的Al2O3低损耗薄膜.测量分析样品制备不同阶段的表面均方根粗糙度、反射率,通过理论分析,计算得出了2MAl2O3薄膜的光学吸收.研究分析了氧气流量对Al2O3薄膜吸收、表面均方根粗糙度的影响.结果显示,氧气流量对Al2O3薄膜的表面均方根粗糙度影响较小,表面均方根粗糙度优于0.15 nm;随着氧气流量增加,2M Al2O3薄膜的吸收先减小,达到最小极值后再增加;采用优化后的工艺,可以稳定地获得消光系数优于5×10-6的Al2O3薄膜.对进一步降低Al2O3薄膜的弱吸收和扩展Al2O3薄膜的应用有指导意义.

关键词：低损耗薄膜、光学吸收、离子束溅射、表面均方根粗糙度、消光系数

所属期刊栏目：18

分类号：O484.1+1(固体物理学)

在线出版日期：2021-02-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：91-95