基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制

摘要：

研究了一种直接沉积在镍基高温合金上的薄膜热电偶传感器.针对航空发动机高温恶劣环境,设计了传感器的膜层结构,采用磁控溅射技术沉积NiCrAlY薄膜过渡层,以电子束蒸发和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积A12O3薄膜绝缘层和保护层,采用直流磁控溅1 100℃,塞贝克系数8.26μV/℃,最大温度误差小于1％,使用寿命大于20h.该薄膜热电偶能够承受恶劣的航空发动机试验环境,显著地提高局部温度测量的精度,对涡轮叶栅的寿命预期和冷却结构设计提供了参考依据.

关键词：薄膜热电偶、传感器、温度测量、标定、塞贝克系数

所属期刊栏目：18

分类号：TB383.2;TH811(工程材料学)

在线出版日期：2021-02-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-17