一种提高相位-高度映射精度的标定方法

摘要：

在相位测量轮廓术中,传统的相位-高度映射通过对若干已知高度平面的单次数据采集来完成标定.在标定过程中,不同时刻所采集的数据肯定有所不同,从而在标定时计算出的待标定系数也有所不同,这就影响了相位-高度映射精度.为了提高相位-高度映射精度,提出了对参与标定的平面进行多次测量,从而能得到多组标定系数,采用平均标定系数来代替单次标定系数的标定方法,使标定系数更加真实稳定,受时间的影响减小.通过测量若干给定高度平面验证了该方法的有效性,通过测量“心”形物体的三维面形验证了该方法的实用性,表明该方法能有效提高相位测量轮廓术测量精度.

关键词：三维测量、相位测量轮廓术、系统标定、相位高度映射、三维重构

所属期刊栏目：16

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2007AA01Z333;国家科技重大专项2009ZX02204-008

在线出版日期：2018-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7