反中波透长波红外分束膜的设计与制备研究

摘要：

设计了45°入射反中波透长波分束膜系,并进行了误差仿真分析.选用“Ge+ ZnS”和“ZnS+YF3”两组高、低折射率材料,采用离子辅助电子束蒸发技术,经过大量的镀制实验与工艺改进,解决了薄膜应力累积、不牢固、波长易偏移等问题,获得了45°入射中波红外3.7～4.8μm波段反射率R≥98％,长波红外7.7～10.3 μm波段透过率T≥95％、光学性能良好的反中波透长波红外分束膜.镀膜样品一次性通过了GJB 2485-1995规定的高低温及附着力试验.试验结果表明,膜层致密性和附着力良好.

关键词：红外、分束膜、离子辅助沉积、环境试验

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ290489

在线出版日期：2017-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-64,73