一种消除后表面反射干扰的新型PMD面形检测技术

摘要：

相位测量偏折术(PMD)是一种结合光线反射原理和条纹相位编码的光学面形检测方法,具有设备简单、成本低廉、稳定抗干扰等优点.但传统的偏折术需要对透明元件后表面进行黑化或粗糙化处理,以避免后表面反射对条纹相位提取的干扰,过程中可能损伤光学表面.分析了PMD面形检测方法用于透明元件检测的数学模型,提出了一种基于多频条纹反射和谱估计算法的新型PMD-多频条纹偏折术,分离了透明元件前后表面反射信号.从数字信号分析角度描述了谱估计方法分离精度的影响因素,并给出了分离结果优化的具体方案.进行了数值模拟和实验验证,取得了与基于相移的传统PMD非常接近的检测结果,证明了多频条纹偏折术的正确性和可行性.实验结果表明,该技术具有精度高、无需改变现有实验装置和待测元件的优点,为透明元件的无损静态检测提供了可靠的方法.

关键词：相位测量偏折术、光学面形检测、后表面反射、多频条纹偏折术、谱估计

所属期刊栏目：15

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61377018

在线出版日期：2017-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：16-24,29