考虑表面粗糙度时多层膜正入射光谱特性近似计算模型

摘要：

基于表面粗糙度的空间周期与光波波长的相对关系,引入大、小尺度粗糙度概念,建立考虑粗糙度时多层膜正入射光谱特性系数的近似计算模型.以紫外波段的单层膜和多层膜为例进行光谱特性仿真计算,对仿真结果进行横向对比,结果表明,无论是对单层膜还是多层膜,该近似计算模型结果正确,计算精度高,具有较好的适用性.

关键词：光学薄膜、表面粗糙度、传递矩阵、正入射

所属期刊栏目：15

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61405250资助项目

在线出版日期：2017-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：68-71