柔性衬底沉积AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性能研究

摘要：

为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜.先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响.通过合理的实验设计与对比,发现在柔性PET衬底上制备的三层AZO薄膜与在硬质衬底上制备的薄膜光电性能相当,且当三层AZO/Ag/AZO薄膜中AZO层厚度在40～45 nm,Ag层厚度8 nm时,在可见光波段的透过率高达到92％,电阻率低至4.0×10-5Ω· cm,透明导电薄膜的品质因子最高为12.6×10-2Ω-1.得到的AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜具有与常见的ITO薄膜相比拟的性能.

关键词：透明导电薄膜、三层结构AZO薄膜、柔性衬底、直流磁控溅射、膜系优化

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：广东省省部产学研合作专项资金2013B090200042资助项目

在线出版日期：2016-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：82-86,92