胶体微球单层薄膜的制备、表征及应用

摘要：

为使用大面积均匀分布的微球掩模制作纳米柱LED,对胶体微球单层薄膜的自组装技术进行了研究.采用旋涂法、滴定法和气液界面法,对2μm和455 nm两种粒径的胶体微球进行自组装实验,并使用扫描电子显微镜进行观察和比较,分析了三种方法的优缺点.实验结果表明,旋涂法在制备过程中容易出现多层堆积现象;滴定法容易形成单层薄膜,但胶体微球较为稀疏;气液界面法可以实现较大面积的单层薄膜,胶体微球均匀分布,而且适用于各种基片,是一种简单有效的自组装方法.优选气液界面法,在GaN基LED外延片上制备了均匀分布的纳米柱结构,验证了这种方法用于纳米柱LED芯片制备的可行性.

关键词：胶体微球、自组装技术、气液界面法、纳米柱LED、微球掩膜

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分类号：TN303(半导体技术)

资助基金：863国家高技术研究发展计划2014AA032609、国家自然科学基金61404050、广东省重大科技专项2014B010119002、中央高校基本科研业务费专项资金2015ZM131资助项目

在线出版日期：2016-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：77-81