金属Ag高反膜的激光损伤特性研究

摘要：

高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器有效输出功率的提高.因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键.在真空箱式镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,电子束蒸发的方法制备介质保护膜,采用Lambda950测试其光学特性,在激光损伤测试仪上测试薄膜的损伤阈值.分析沉积温度对单层银膜光学特性和附着力的影响,不同层数的介质保护膜对Ag膜的光学特性和抗激光损伤能力的影响.研究结果表明:沉积温度分别为室温、120℃、150℃及200℃时制备单层银膜,在沉积温度200℃下,制备的银膜在1 000～1 400 nm波段的平均反射率达到了99.17％,此时银膜的激光损伤阈值为1.74 J/cm2,在银膜外侧加介质保护膜后其损伤阈值达到了6.874 J/cm2,经激光预处理后,损伤阈值提高到10.83 J/cm2,是单层金属膜损伤阈值的6倍.

关键词：金属膜、阻蒸法、沉积温度、损伤阈值、预处理

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分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61378050,国家自然科学基金61205155,未央科技计划201401资助项目

在线出版日期：2016-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：90-94