一种基于偏振光干涉的直线度测量系统
介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成.测量时,活动部分固定在被测要素上.被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化.通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果.实验显示本测量系统具有10 nm的分辨率,在20 mm的测量范围内误差≤0.5 μm,提高了分辨率和测量精度.
直线度、测量、偏振光干涉、相位、系统
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TN24(光电子技术、激光技术)
2014-10-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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