高精度激光三角位移测量系统误差分析

摘要：

激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用.针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求,从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析,分别讨论了各个因素对于测量精度的影响,并提出了优化方案.经实验验证,该激光三角位移测量系统在110mm的工作距离下测量误差小于1.2μm,优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器.

关键词：激光三角法、光斑定位、二次法定标、光电探测器、非接触测量

所属期刊栏目：11

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66