基于双缝隙结构的电光调制器设计与工艺实现

摘要：

受铜线带宽小、延时大、功耗高的限制,下一代芯片互连较为可行的一种解决方式是采用光互连.调制器作为其中的关键器件,有重要的研究意义.设计了一种新型的硅基双缝隙波导电光调制器,该调制器结构采用法布里-珀罗微谐振器,依靠缝隙内高非线性聚合物的快速电光效应,通过外加电压达到调制效果.调制器结构包含了新型的一般微纳波导到双缝隙波导的模式转换器,降低了传输损耗,也更利于电极的工艺制作.首先对设计结构进行仿真分析,得到合适的设计参数.然后,对调制器所需的工艺进行反复验证,包括工艺制备中参数的优化等,通过使用电子显微镜已观测到较好的光刻线宽、刻蚀深度以及侧壁粗糙度.初步完成了调制器硅基部分的制备,为下一步聚合物工艺打下基础.

关键词：电光调制器、双缝隙波导、法布里-珀罗微谐振器、光子晶体

所属期刊栏目：09

分类号：TN15(真空电子技术)

资助基金：973项目2011CB301700;国家自然科学基金60877012;61071011;61001074;61007039;61007052;上海科委项目10DJ1400402;09JC1408100

在线出版日期：2012-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：38-41