光波导氨敏传感器的研究

摘要：

提出了一种新型的光波导氨敏传感器，将光波导中消逝波理论与纳米多孔薄膜技术相结合，在玻璃薄膜光波导上制备一层纳米TiO2多孔薄膜，并将氨敏试剂（BTB）固定在纳米TiO2多孔薄膜中，利用导波光的消逝场实时地探测敏感薄膜对导波光的吸收，实现了对氨气的探测，检测下限达到1ppm。同时对比了致密敏感薄膜和多孔敏感薄膜对氨气的响应，后者灵敏度约为前者的3倍，最后讨论了相对湿度对检测结果的影响。由于所制作的敏感薄膜对光谱的吸收具有可逆性，因此该传感器具有良好的重复性。

关键词：光波导、气体检测、平面波导、敏感薄膜、纳米多孔材料

所属期刊栏目：9

分类号：O436.2(光学)

资助基金：基金项目国家重点基础研究发展计划9732009CB320300;国家自然科学基金60978042;集成光电子学国家重点联合实验室开放课题2010KFB003;中科院“百人计划”择优支持资助项目

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19