10.3969/j.issn.1672-3392.2011.03.013
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜.采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系.采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验.结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求.
透明导电薄膜、非平衡闭合磁场反应溅射、ITO薄膜、环境试验
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O484(固体物理学)
2011-10-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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56-58,63