激光微加工制作的微光纤珐-珀加速度传感器

摘要：

将157 nm激光微加工制作的微光纤珐-珀腔贴于悬臂梁结构构成加速度传感器.通过设计特定的悬臂梁结构和FFT方法,该加速度传感器的分辨率约为1.13 mg/Hz1/2.通过采用MUSIC算法处理信号,信噪比可提高45 dB,系统分辨率约为3.56×10-2 μg/Hz1/2.该微光纤珐-珀传感器具有可批量制作、成本低、抗高温、量程灵活等优点,有望应用于石油勘探、地震测量等领域中.

关键词：光纤光学、传感器、激光微加工、光纤珐-珀腔、加速度计、MUSIC算法

所属期刊栏目：8

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金重点项目60537040

在线出版日期：2011-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15