激光自混合干涉测振仪的硬件系统设计

摘要：

基于激光自混合干涉技术的特点,设计了一种新型半导体激光自混合干涉测振仪系统.系统将频率调制引入自混合干涉中,实现对振动物体的非接触式测量.介绍了激光自混合干涉测振仪的原理、仪器系统的光路系统设计、信号的调制模块设计、解调模块设计以及DSP系统的采集处理模块设计.该仪器体积小、成本低、易于准直、可以非接触式测量,能够测量振动频率在50 kHz内的物体,其中包括非周期性振动.可以测量出振动物体的振动频率、振幅以及还原振动波形,振动幅度测量精度可以达到0.325 μm,频率精度为1 Hz.

关键词：激光、自混合干涉、测振仪、DSP系统

所属期刊栏目：7

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：2008江苏省高校自然自然研究计划08KJB510008

在线出版日期：2009-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77