10.3969/j.issn.1672-3392.2004.05.004
衬底温度对氧化锌薄膜电学性质的影响
氧化锌是一种性能良好的半导体材料,可以用作薄膜场发射阴极中的电子传输层材料.主要研究了用磁控溅射方法在不同衬底温度下生长ZnO薄膜的电学特性,分析了ZnO薄膜的电阻率和击穿场强随温度的变化关系.
氧化锌薄膜、电阻率、击穿场强
2
O484.4(固体物理学)
山东省教育厅资助项目03C08
2004-12-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
11-13
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10.3969/j.issn.1672-3392.2004.05.004
氧化锌薄膜、电阻率、击穿场强
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O484.4(固体物理学)
山东省教育厅资助项目03C08
2004-12-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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