10.3969/j.issn.1672-3392.2003.01.014
光栅干法刻蚀与湿法刻蚀的研究
在光栅的制作中有两种方法:其中一个是湿法,另外一个是干法.本文分别就湿法和干法的实验结果,进行比较.用干法刻蚀方法做出了比较好的一级光栅,证明了干法刻蚀优于湿法刻蚀.
分布式布拉格反馈、干法腐蚀、反应离子刻蚀、全息光刻
1
TH741.6(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
54-56
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10.3969/j.issn.1672-3392.2003.01.014
分布式布拉格反馈、干法腐蚀、反应离子刻蚀、全息光刻
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TH741.6(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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