长线列密排光纤阵列高精度设计制作

摘要：

为了实现线性长度约18 mm,光纤端面位置偏差不大于2μm,纤芯垂直度偏差不大于0.17°的长线列密排光纤阵列的高精度制作,提出了一种长线列密排光纤阵列高精度设计制作方法.该方法综合了压板法和硅V型槽法两种方法的优点,采用表面刻制等深梯形槽的硅基片作为光纤定位模板,实现光纤端面的定位误差控制,同时结合光纤复定位工艺实现光纤轴向的定位误差控制.实际检测结果表明,阵列端面纤芯的横向偏差和竖向线性偏差均小于1μm,纤芯的轴向垂直度偏差不大于0.13°,实现了长线列密排光纤阵列高精度设计制作.

关键词：长线列密排光纤阵列、硅梯形槽模板、光纤端面定位、光纤轴向定位

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国工程物理研究院专项基金项目902-301

在线出版日期：2018-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4-7,13