光纤预制棒制造用精密流体输送系统的设计

摘要：

光纤预制棒产品的稳定性一直是预制棒生产商关注的焦点.将SiCl4和GeCl4这两种在整个预制棒制造过程中十分关键的原料精确、稳定地输送到沉积炉内参与反应是确保光纤预制棒质量优良的关键.从流体输送的基本概念及控制点详细阐述了用于光纤预制棒生产的精密流体输送系统的设计.

关键词：光纤预制棒、精密流体输送、汽相沉积

分类号：TN818(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2010-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：26-27,43