10.3969/j.issn.1006-1908.2004.04.005
光纤制备中的外汽相沉积工艺研究
人们对光纤生产过程中外汽相沉积(OVD)工艺的沉积机理的研究已经有好多年,但实际生产过程中,很多因素都会影响沉积速率和效率.为此我们通过试验,研究了决定沉积速率和沉积效率的主要因素,如预制棒表面温度、SiCl4流量和SiO2颗粒的温度等.
外汽相沉积工艺、沉积速率、光纤制备
TN818(无线电设备、电信设备)
2004-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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