四波前横向剪切干涉仪的关键技术研究

摘要：

四波前横向剪切干涉(QWLSI)是一种精度高、动态范围大、分辨率高、抗干扰能力强的瞬态波前检测技术.本文结合国内外相关研究工作,重点阐述了本课题组在分束器件设计、多方向横向剪切干涉图处理、测量误差校准等QWLSI的关键技术研究方面取得的进展.以关键技术研究为基础,本课题组开发了QWLSI的原理装置,其绝对测量精度(RMS)达到0.0038λ(2.4 nm,λ=635 nm),重复测量精度(RMS)达到0.0004λ(0.25 nm,λ=635 nm).QWLSI与商品化的夏克-哈特曼波前传感器的对比实验结果表明,两种仪器对含有第4～36项单项Zernike像差入射波前的测量结果基本一致.

关键词：光学检测、剪切干涉、衍射光栅、相位提取、波前重建、误差校准

所属期刊栏目：43

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家科技重大专项

在线出版日期：2023-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：245-255