高速异型掺杂的硅基槽波导调制器

摘要：

针对硅基单端推挽调制器的pn结结电容大、调制效率低的问题,设计出一种基于异型掺杂和槽波导结构的硅基调制器.通过槽波导结构和L型掺杂增大了耗尽区与光场相互作用,与传统脊波导相比,在相同调制效率下,槽波导的结电容降低了 24％,带宽提高了 32％.采用T型轨道的电极实现阻抗和折射率的匹配,4V偏压下调制带宽达到42 GHz,实现了峰峰值电压Vpp=2V驱动下70 Gbit/s的OOK信号调制,眼图消光比达5.2dB.

关键词：光学器件、电光调制器、行波电极、马赫-曾德尔调制器

所属期刊栏目：43

分类号：O436(光学)

资助基金：国家重点研发计划2021YFB2800301

在线出版日期：2023-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：210-217