双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术

摘要：

双频激光干涉仪功能强大,50年来保持良好的发展势头,应用面(特别是在先进制造业)越来越宽广.本文以解决关键技术为线,概述笔者及合作者经40年坚韧研究完成的"可伐-玻璃组装式单频He-Ne激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪"的全链条技术.技术亮点有:开国内可伐-玻璃组装式He-Ne激光器之先,吹制工艺或成历史;开国内外内雕应力双频激光器之先,解大频差和高功率不可得兼之难,保持1 mW功率运转而频差可以在1～40 MHZ范围选择,还在源头上消除了干涉仪一直存在的测量非线性误差.目前,双折射双频激光器和干涉仪已在北京镭测科技有限公司批量生产.中国计量科学院测试结果表明,此双频激光干涉仪非线性误差小于1 nm,测量70 m长度时误差小于5 μm.

关键词：激光器、双频激光、干涉仪、研究历程、可伐-玻璃组装式结构、技术链条、激光雕刻

所属期刊栏目：43

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中德研究中心中德国际合作项目;国家科技重大专项

在线出版日期：2023-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：181-190