应用于VCSEL的GaAs/AlOx高折射率对比度亚波长光栅反射镜的设计和制备

摘要：

基于严格耦合波理论,分析GaAs/AlOx高折射率对比度亚波长光栅(HCG)反射镜的偏振和反射特性,设计了横电(TE)偏振的HCG.当入射光由衬底垂直入射时,HCG在940 nm附近的最高反射率接近1.分析了光栅形貌误差和入射角偏差对其反射特性的影响.采用金属有机化合物气相沉积技术进行外延生长,通过电子束曝光、干法刻蚀、湿法刻蚀以及湿法氧化等方法制备出HCG,并进行理论与实验结果的对比分析.实验测试了入射光由光栅表面垂直入射的反射率,其中TE偏振光的最高反射率达到84.9％,与86.5％的理论值比较接近,且横磁(TM)偏振光的反射率低于40％,反射谱的变化规律也与理论结果基本一致,这验证了理论结果的合理性.该反射镜可以作为垂直腔面发射激光器的超薄反射器,具有低损耗、偏振稳定和单模工作的特性.

关键词：光栅、高折射率对比度亚波长光栅、衍射效率、偏振、单模、垂直腔面发射激光器

所属期刊栏目：43

分类号：O472+.8(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;吉林省科技发展计划

在线出版日期：2023-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：9-14