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10.3788/AOS202242.2334001

上海同步辐射光源纳米三维成像线站设计、研发及调试

引用
全场透射X射线显微镜(TXM)具有纳米量级空间分辨、原位、无损和三维(3D)成像等优点,目前已被广泛应用到多个研究领域中.纳米三维成像线站是上海同步辐射光源(SSRF)二期工程建设内容之一,该线站瞄准前沿领域中的科学问题和国家战略需求,主要实验方法为TXM和纳米计算机断层扫描(CT),能量范围为5~14 keV,空间分辨率的设计指标为20nm.该线站基于弯铁光源,光束线采用柱面准直镜、双晶单色器和超环面聚焦镜设计方案.实验线站采用自主设计、整体集成的全场TXM系统,实验站中单毛细管聚焦元件、TXM机械系统、纳米CT控制及数据采集软件均为自主研发.2021年SSRF纳米三维成像线站(BL18B)完成了带光调试与性能测试,实现了 20 nm分辨率的TXM成像,是国际上首条基于弯铁光源并实现20 nm分辨率成像的光束线站,测试结果全部达到线站设计指标,2022年该线站将对用户开放使用.

X射线光学、透射X射线显微镜、同步辐射、单毛细管聚焦镜、自主研发

42

O434.11(光学)

国家重点基础研究发展计划(973计划);国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金

2023-03-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

237-243

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0253-2239

31-1252/O4

42

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